Dipl.Ing. Dr. Gerhard Stengl

geboren am 03.05.1940 in Karlsbad-Aich

gestorben am 21.11.2021 in Wernberg


Trauerfeier:  30.11.2021 um 12.00 Uhr in der Aufbahrungshalle in Damtschach

Karin Schuster

Monika und Gerhard

Christian Haberl

In Dankbarkeit und ewiger Erinnerung - Ruhe in Frieden

Elmar

Danke für alles!

Irmgard Löschner

Hans Löschner

in Dankbarkeit

Peter aus Bratislava

Ruhe in Frieden

Wolfgang Lammer

In ewiger Erinnerung an schöne Zeiten.

Gabi Brunner

Wünsche viel Kraft in dieser schweren Zeit

Robert Nowak

Ein Freund und Kollege verabschiedet sich.

Erika

Maria Bauer

RUHE IN FRIEDEN - Meine aufrichtige Anteilnahme!

DI Wolfram de Cillia

Theresa mein aufrichtiges Beileid

DI Wolfram de Cillia

Manu Mein Beileid für Dich und deine Familie lg Wolfi

Familie Daniela Schellander

Unser herzliches Beileid

Petra

Vera

Deine Claudi!

Boris

Schellander Gerhard

Mein aufrichtiges Beileid

Peter u. Ulli

Ruhe in Frieden lieber Freund

Anna, Sofija und Darijo

Manuela, Luca und Robert

Sr. Danie

Das ewige Licht leuchte ihm.

Teresa

Peter Rossmann u Uschi Benold

Es leuchtet dein Stern der Erinnerung

PH Martina

Mein aufrichtiges Beileid

PH Petra

Ruhe in Frieden

Familie Arnulf Schellander

Unsere aufrichtige Anteilnahme

Angelika u.Dieter Schlieper

Unsere aufrichtige Anteilnahme

Familie De Monte

Unser aufrichtiges Beileid

A Liachtle aus der Steiermark

Familie Zofall

Aufrichtige Anteilnahme, Ruhe in Frieden

28.11.2021

Hans Löschner

Gedenken an Gerhard Stengl (3. Mai 1940 – 21. November 2021) Mit Gerhard Stengl verbindet mich eine lange Zeit der beruflichen Zusammenarbeit, beinahe 30 Jahre von 1976 bis 2005. Danach waren wir weiter freundschaftlich verbunden. Das letzte Mal habe ich am 3. Mai dieses Jahres an seinem 81. Geburtstag mit ihm telefoniert. Vor 1976 war der hochbegabte Physiker Gerhard Stengl Wissenschaftler am Radiuminstitut der Universität Wien, wo er einen gepulsten Ionen-Beschleuniger für die Produktion von Neutronen aufgebaut hat. Ich kann mich sehr gut an eine Konferenz in Boston, USA, im Dezember 1984 erinnern, wo ein Vortragender über die weltweit wichtigsten Errungenschaften hinsichtlich Neutronen Physik berichtet hat. Ganz vorne war die Arbeit von Gerhard gelistet! Anfang 1984 war das Jahr wo wir nach Arbeiten für die Rudolf Sacher GmbH arbeitslos geworden sind. Gerhard musste als Deutscher (eigentlich Bayrischer) Staatsbürger wöchentlich in Tulln am Arbeitsamt erscheinen, in einer langen Reihe von vornehmlich türkischen Kollegen wartend. Dort war ein beflissener Beamter um Ordnung bemüht und ist die lange Reihe entlanggegangen mit der Frage: “Du Papier grünes?“ Als dann Gerhard endlich in das Beamtenzimmer eintreten und Platz nehmen konnte, hat der Beamte aufgeblickt mit der Frage: “Du Doktor?“ Gerhard hat darauf gefragt: “Du lesen, schreiben auch?“ Nach vielen Mühen ist es gelungen auf Basis von technisch sensationellen Ergebnissen im September 1984 mit Hilfe von Risiko-Kapital im Februar 1985 die Firma IMS – Ionen Mikrofabrikations Systeme GmbH in der Schreygasse 3 im zweiten Wiener Bezirk zu gründen. Gerhard war Geschäftsführer und Technischer Direktor. 1987 wurde ein IMS Ionen-Projektions-Forschungsgerät nach West-Berlin geliefert, an ein damals dort befindliches Fraunhofer-Institut. Mitte 1989 konnte mit diesem Gerät ein Auflösungsvermögen von 50 Nanometern nachgewiesen werden (ein Nanometer ist ein Millionstel Millimeter). Parallel zu dem Österreichisch-Deutschen EUREKA Projekt EU50 wurde von IMS im Auftrag der Technischen Universität Wien ein ALPHA Ionen-Projektor gebaut und in Betrieb genommen. Die japanische Firma SUMITOMO war dann an der Ionen-Projektions-Lithographie (“IPL“) von IMS sehr interessiert und hat 1990 bis 1992 Forschungsprojekte mit dem ALPHA IPL Gerät finanziert. Daraufhin wurde großes Interesse an der IPL Technologie von den Vereinigten Staaten bekundet und 1992 bis 1996 finanziert. Daraufhin wollte Siemens (und später Infineon) die IPL Technologie in Europa zur Industriereife weiterentwickeln, und so wurde über Europäische Forschungsprojekte bei IMS der Bau eines IPL-Produktions-Prototypen in Auftrag gegeben und im Frühjahr 2001 erfolgreich realisiert. Allerdings wurde von der Halbleiter Industrie dann gegen Ende 2001 einer konkurrierenden Lithographischen Technik (“EUV“) der Vorrang gegeben, so dass die geplante industrielle Umsetzung der IPL Technologie gestoppt wurde. In den frühen 90er Jahren hatten wir einige Jahre einen sehr gestrengen Geschäftsführer, der bei einer Meilenstein-Verzögerung geflissentlich nach den Schuldigen suchte. Gerhard hat ihm dazu gesagt: “Ich verlange schuld zu sein!“ Ein von Mitte 1999 bis September 2001 ausgearbeitetes Konzept einer Multistrahl Technik mit geladenen Teilchen (Elektronen, Ionen) für Anwendungen in der Nanolithographie und Nanostrukturierung hat ab Anfang 2002 hohe Beachtung gefunden. Durch Österreichische und Europäische Forschungsprojekte und Risiko-Kapital wurde die Entwicklung des IMS Konzepts unterstützt. Schließlich konnte dann, mit Hilfe von zusätzlicher Industrie Finanzierung ab 2009, im Jahr 2012 der “Proof-of-Concept“ mit 262-Tausend programmierbaren Elektronenstrahlen nachgewiesen werden. In weiterer Folge wurde dann im Rahmen der bereits 2001 gegründeten IMS Nanofabrication GmbH ein Elektronen Multistrahl Maskenschreiber für die Halbleiter Industrie entwickelt und mit finanzieller industrieller Unterstützung zum Erfolg gebracht. Seit 2017 sind die IMS Elektronen Multistrahl Maskenschreiber bei den weltweit fortschrittlichsten Halbleiterfirmen im industriellen Einsatz für die Fabrikation von Chips mit Strukturen unter 10 Nanometern. So blicken wir zurück auf ein bewegtes und begnadetes Leben des Physikers Gerhard Stengl an vorderster Front der physikalischen Forschung und industriellen Umsetzung. Gerhard hat mir immer wieder die Bayerische Staatsbürgerschaft versprochen, aber dazu ist es nie gekommen. Aber eine sehr weise Aussage von ihm hat mir schon in vielen schwierigen Situationen geholfen: “Auch dieses geht vorüber!“ So werde ich Gerhard in meinem Herzen bewahren.

23.11.2021

Michael Karasin

Bestattung Kärnten - Unsere aufrichtige Anteilnahme!