Dipl.Ing. Dr. Gerhard Stengl
geboren am 03.05.1940 in Karlsbad-Aich
gestorben am 21.11.2021 in Wernberg
Trauerfeier: 30.11.2021 um 12.00 Uhr in der Aufbahrungshalle in Damtschach
geboren am 03.05.1940 in Karlsbad-Aich
gestorben am 21.11.2021 in Wernberg
Trauerfeier: 30.11.2021 um 12.00 Uhr in der Aufbahrungshalle in Damtschach
30.11.2021
Ich hatte das Glück Gerhard im Jahr 1999 kennenzulernen, als ich mich frisch von der Uni kommend der IMS angeschlossen habe. Die IMS ist jene Firma, die Gerhard mitbegründet hat, und für die Gerhard den Grundstein des heutigen Erfolgs gelegt hat. Gerhard war schon immer ein Ausnahmetalent, er liebte es, an technische Grenzen zu gehen und Unmögliches möglich zu machen. Und so hat Gerhard mit seiner Innovationskraft Maschinen entwickelt, die mittlerweile zur Schlüsseltechnologie für die Chipproduktion geworden sind, und die heute weltweit zum Einsatz kommen. Gerhard war nicht nur exzellenter Physiker und Maschinenbauer, er war ein absoluter Generalist. Ich habe Gerhard dafür immer sehr bewundert. Mit der Zeit habe ich bemerkt, dass Gerhard nicht nur der geniale Kopf war, sondern mein großer Förderer wurde, und dazu ein väterlicher Freund. Gerhard hatte immer ein offenes Ohr für persönliche Dinge, er war ein guter Zuhörer und Ratgeber für verschiedenste Lebensbereiche. Letztendlich hat mich Gerhard zu seinem Nachfolger aufgebaut und mir das nötige Selbstvertrauen gegeben. Noch während seiner Pension fuhr er regelmäßig von Kärnten nach Wien und half uns technische Rätsel zu lösen. Gerhard war ein besonders humorvoller Mensch, wir hatten jede Menge Spaß und lachten viel gemeinsam. Besonders in Erinnerung geblieben sind mir die legendären Fußballabende beim Wirtn, wo ich am Ende, dem Gerhard zu Liebe, stets zum FC Bayern München Fan wurde. Gerhard hatte die wunderschöne Eigenschaft, dass er sein Wissen teilen wollte, und das auch sehr gut konnte. Ich erinnere mich noch heute an die lebendigen Diskussionen, wo Gerhard komplexeste Zusammenhänge durch einfache Vergleiche vermittelt hat. In bester Erinnerung ist mir auch der Pullover mit den horizontalen Streifen, den er immer wieder sehr anschaulich als Längenmaßstab verwendete und dabei verschmitzt grinste. In schwierigen Zeiten hat Gerhard öfters gesagt, „Auch dieses geht vorüber“. Diese für Gerhard ganz typische Lebensbetrachtung ist für mich zu einer Art Leitfaden geworden. Ich werde Gerhard in meinem Herzen behalten. Ich bin ihm unendlich dankbar für die schöne gemeinsame Zeit, und für seine so wichtige Rolle in meiner persönlichen Entwicklung. Danke lieber Gerhard! H a b e d i e E h r e !
28.11.2021
Gedenken an Gerhard Stengl (3. Mai 1940 – 21. November 2021) Mit Gerhard Stengl verbindet mich eine lange Zeit der beruflichen Zusammenarbeit, beinahe 30 Jahre von 1976 bis 2005. Danach waren wir weiter freundschaftlich verbunden. Das letzte Mal habe ich am 3. Mai dieses Jahres an seinem 81. Geburtstag mit ihm telefoniert. Vor 1976 war der hochbegabte Physiker Gerhard Stengl Wissenschaftler am Radiuminstitut der Universität Wien, wo er einen gepulsten Ionen-Beschleuniger für die Produktion von Neutronen aufgebaut hat. Ich kann mich sehr gut an eine Konferenz in Boston, USA, im Dezember 1984 erinnern, wo ein Vortragender über die weltweit wichtigsten Errungenschaften hinsichtlich Neutronen Physik berichtet hat. Ganz vorne war die Arbeit von Gerhard gelistet! Anfang 1984 war das Jahr wo wir nach Arbeiten für die Rudolf Sacher GmbH arbeitslos geworden sind. Gerhard musste als Deutscher (eigentlich Bayrischer) Staatsbürger wöchentlich in Tulln am Arbeitsamt erscheinen, in einer langen Reihe von vornehmlich türkischen Kollegen wartend. Dort war ein beflissener Beamter um Ordnung bemüht und ist die lange Reihe entlanggegangen mit der Frage: “Du Papier grünes?“ Als dann Gerhard endlich in das Beamtenzimmer eintreten und Platz nehmen konnte, hat der Beamte aufgeblickt mit der Frage: “Du Doktor?“ Gerhard hat darauf gefragt: “Du lesen, schreiben auch?“ Nach vielen Mühen ist es gelungen auf Basis von technisch sensationellen Ergebnissen im September 1984 mit Hilfe von Risiko-Kapital im Februar 1985 die Firma IMS – Ionen Mikrofabrikations Systeme GmbH in der Schreygasse 3 im zweiten Wiener Bezirk zu gründen. Gerhard war Geschäftsführer und Technischer Direktor. 1987 wurde ein IMS Ionen-Projektions-Forschungsgerät nach West-Berlin geliefert, an ein damals dort befindliches Fraunhofer-Institut. Mitte 1989 konnte mit diesem Gerät ein Auflösungsvermögen von 50 Nanometern nachgewiesen werden (ein Nanometer ist ein Millionstel Millimeter). Parallel zu dem Österreichisch-Deutschen EUREKA Projekt EU50 wurde von IMS im Auftrag der Technischen Universität Wien ein ALPHA Ionen-Projektor gebaut und in Betrieb genommen. Die japanische Firma SUMITOMO war dann an der Ionen-Projektions-Lithographie (“IPL“) von IMS sehr interessiert und hat 1990 bis 1992 Forschungsprojekte mit dem ALPHA IPL Gerät finanziert. Daraufhin wurde großes Interesse an der IPL Technologie von den Vereinigten Staaten bekundet und 1992 bis 1996 finanziert. Daraufhin wollte Siemens (und später Infineon) die IPL Technologie in Europa zur Industriereife weiterentwickeln, und so wurde über Europäische Forschungsprojekte bei IMS der Bau eines IPL-Produktions-Prototypen in Auftrag gegeben und im Frühjahr 2001 erfolgreich realisiert. Allerdings wurde von der Halbleiter Industrie dann gegen Ende 2001 einer konkurrierenden Lithographischen Technik (“EUV“) der Vorrang gegeben, so dass die geplante industrielle Umsetzung der IPL Technologie gestoppt wurde. In den frühen 90er Jahren hatten wir einige Jahre einen sehr gestrengen Geschäftsführer, der bei einer Meilenstein-Verzögerung geflissentlich nach den Schuldigen suchte. Gerhard hat ihm dazu gesagt: “Ich verlange schuld zu sein!“ Ein von Mitte 1999 bis September 2001 ausgearbeitetes Konzept einer Multistrahl Technik mit geladenen Teilchen (Elektronen, Ionen) für Anwendungen in der Nanolithographie und Nanostrukturierung hat ab Anfang 2002 hohe Beachtung gefunden. Durch Österreichische und Europäische Forschungsprojekte und Risiko-Kapital wurde die Entwicklung des IMS Konzepts unterstützt. Schließlich konnte dann, mit Hilfe von zusätzlicher Industrie Finanzierung ab 2009, im Jahr 2012 der “Proof-of-Concept“ mit 262-Tausend programmierbaren Elektronenstrahlen nachgewiesen werden. In weiterer Folge wurde dann im Rahmen der bereits 2001 gegründeten IMS Nanofabrication GmbH ein Elektronen Multistrahl Maskenschreiber für die Halbleiter Industrie entwickelt und mit finanzieller industrieller Unterstützung zum Erfolg gebracht. Seit 2017 sind die IMS Elektronen Multistrahl Maskenschreiber bei den weltweit fortschrittlichsten Halbleiterfirmen im industriellen Einsatz für die Fabrikation von Chips mit Strukturen unter 10 Nanometern. So blicken wir zurück auf ein bewegtes und begnadetes Leben des Physikers Gerhard Stengl an vorderster Front der physikalischen Forschung und industriellen Umsetzung. Gerhard hat mir immer wieder die Bayerische Staatsbürgerschaft versprochen, aber dazu ist es nie gekommen. Aber eine sehr weise Aussage von ihm hat mir schon in vielen schwierigen Situationen geholfen: “Auch dieses geht vorüber!“ So werde ich Gerhard in meinem Herzen bewahren.
23.11.2021
Bestattung Kärnten - Unsere aufrichtige Anteilnahme!
